et
Sisukord: 1. Sissejuhatus: Mõistmine, kui oluline on mõõtmine Die Gap 2. Meetodid mõõtmise meetodite mõõtmiseks 2.1 Mitmekülgne tööriist mõõtmiseks 2.2 Optilised võrdlejad: täpsuse ja tõhususe suurendamine 2.3 Mikromeetrid: Täpsuse saavutamine Die Gap Mõõtmises 2.4 Laseri mõõtmise süsteemid: Täpsete tulemuste täiustatud tehnoloogia 3. Samm-sammult juht T